下载一种直拉硅单晶炉晶棒直径检测方法及其装置的技术资料

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本发明涉及一种直拉硅单晶炉晶棒直径检测方法及其装置,其中装置包括双目图像采集模块(11)、识别模块(12)和检测模块(13);方法包括采集左右图像;分别识别左右图像内同一边界点对应的左右像点,按三角法计算空间位置坐标,再经矩阵转换改为液面为...
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