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本发明提供一种气体高功率加热模块包括导热板，一种气体高功率加热模块，包括通气管、定位组件、加热组件和固定组件，所述通气管夹设在定位组件中，所述加热组件设置在定位组件的两侧并且能够通过定位组件对通气管进行加热，所述固定组件设置在加热组件的两侧...
该专利属于上海至纯系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯系统集成有限公司授权不得商用。

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