温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种用于形成透明导电膜的高密度氧化镓－氧化锌系烧结体溅射靶，其特征在于，其含有２０～２０００质量ｐｐｍ的氧化锆。在氧化镓（Ｇａ↓［２］Ｏ↓［３］）－氧化锌（ＺｎＯ）系溅射靶（ＧＺＯ系靶）中添加微量的规定元素，可改善其导电性和靶的体...
该专利属于日矿金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日矿金属株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。