下载一种用于晶圆的取放装置的技术资料

文档序号:30932240

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本实用新型提供一种用于晶圆的取放装置,包括:设备支架,所述设备支架上设有取放驱动装置,所述取放驱动装置的输出端上设有取放夹持装置,所述取放驱动装置包括驱动装置安装板,所述驱动装置安装板上安装有横向驱动气缸,所述横向驱动气缸的缸体通过固定螺栓...
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