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本实用新型提供一种抽破真空过程中防止被加工基材扰动的料腔，其可以对被加工基片进行更彻底的保护，同时不影响生产效率。其包括：料腔腔体，设置于所述料腔腔体内的基材载具承载台；其特征在于：其还包括板状的盖板，所述盖板顶部固定在所述料腔腔体的腔内顶...
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