温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

纳米结构包括在纳米结构的边缘处的外部区域。由距纳米结构的边缘的距离界定的外部区域的宽度小于100μm。在外部区域中纳米结构的深度在纳米结构的最大深度的0％和至少50％之间逐渐变化。一种方法包括在基底上形成蚀刻掩模，以及使用离子束蚀刻具有蚀刻...
该专利属于脸谱科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过脸谱科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。