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文档序号:30872099
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本实用新型公开了一种研磨装置,包括:主轴;抛盘,其包括与主轴连接的连接部和设在连接部背离主轴一端的研磨部,连接部沿主轴的轴线方向上设有相互连通的第一内腔和第二内腔,第一内腔贯通连接部背离研磨部的一端,第二内腔贯通连接部朝向研磨部的一端,第一...
该专利属于苏州辰轩光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州辰轩光电科技有限公司授权不得商用。
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