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本发明公开了一种晶圆加工装置，包括：腔室，所述腔室的内部设有载台，所述载台上设有晶圆，所述腔室的外部安装电容匹配器，所述腔室的内部固定连接有气体挡板，所述气体挡板上均匀开设有通孔，所述腔室的顶部连通有进气管，预加热的气体通过进气管加入腔室中...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

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