下载一种三维数字化氧化物堆积检测装置的技术资料

文档序号:30818445

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本实用新型公开了一种三维数字化氧化物堆积检测装置,属于氧化物堆积检测技术领域,该装置包括受热面管和检测机构,所述检测机构包括电磁探头,所述受热面管的前后两侧均固定连接有L形固定条,所述L形固定条远离受热面管的一侧开设有L形滑槽,所述电磁探头...
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