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本实用新型公开一种二极管晶圆电特性检测装置，包括底座、晶圆承载座、升降机构、XY轴移动机构、探针夹持件；晶圆承载座通过升降机构与底座连接，晶圆承载座上设置有可调节夹持范围的晶圆夹持卡爪；XY轴移动机构设置在底座上，探针夹持件设置在XY轴移动...
该专利属于山东晶久电子器材厂有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东晶久电子器材厂有限公司授权不得商用。

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