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用干法刻蚀给硬盘驱动器等形成浮动型磁头滑块时，制备磁头滑块的方法提供了粘结要处理的滑块与合适的固定物的方法，并且当同一次处理多个磁头滑块时，将预先制备的滑块排（条）阵列粘结到金属或陶瓷底座上，然后用干法刻蚀方法形成空气支撑，干膜光致抗蚀剂用...
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