下载一种直接与间接制冷相结合的三氟化氮电解气超低温冷阱装置的技术资料

文档序号:30704378

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本发明提供了一种直接与间接制冷相结合的三氟化氮电解气超低温冷阱装置,包括保护箱,保护箱内设置有冷却箱,冷却箱内设有冷却桶,所述冷却桶内内壁上设置有蛇形输送管,蛇形输送管的一端连接有进气设备,冷却桶的外部设有冷却机构,蛇形输送管的一端连接有连...
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