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本实用新型涉及一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，包括挡板，掩膜版托盘，样品托盘，公转工件盘，角接触轴承，轴承隔垫，自转齿轮，高温弹簧，定位轴套，DN200标准法兰，磁流体A，伺服电机A，焊接波纹管，磁流体B，伺服电机B，光轴A...
该专利属于磐石创新（江苏）电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过磐石创新（江苏）电子装备有限公司授权不得商用。

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