下载基于绝缘层上硅的电荷耦合器件的技术资料

文档序号:30645002

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本发明公开了一种基于绝缘层上硅的电荷耦合器件,包括背栅极、衬底、埋层氧化层、漏极区、源极区、顶层硅沟道区、漏极金属接触、源极金属接触、正栅极氧化层和正栅极。入射光照射到器件表面时被衬底吸收,产生的少数载流子积累到由脉冲背栅形成的深耗尽势阱中...
该专利属于浙江大学杭州国际科创中心所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学杭州国际科创中心授权不得商用。

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