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本实用新型公开了一种石英舟顶齿碎片检测装置，其包括机架，机架上设有顶齿机构和检测机构，顶齿机构包括两个顶齿安装板和升降驱动组件，顶齿安装板通过安装架与升降驱动组件连接，每个顶齿安装板装配有一组顶齿，顶齿上设有支撑硅片的齿槽；检测机构包括四组...
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