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本实用新型属于蓝宝石衬底技术领域，涉及蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置。该清洁装置包括设置在支撑台上方的清洗缸和伸缩式液压缸，清洗缸包围底座并与底座形成清洗腔；支撑台内部设置储气罐、水泵、电机和控制系统，电机连接底座底部并为底座旋转提供动力；伸...
该专利属于青岛华芯晶电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛华芯晶电科技有限公司授权不得商用。

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