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本申请公开了一种半导体检测设备。半导体检测设备包括箱体、传输装置及校准装置。其中，箱体包括相互间隔的校准区及翻转区。传输装置位于箱体内的校准区及翻转区之外，传输装置用于获取并传输工件。校准装置位于箱体内的校准区，并用于校准工件的状态，传输装...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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