下载溅射靶材的技术资料

文档序号:3055725

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本发明提供由向Ag中添加特定少量的P使之合金化而成的Ag基合金构成的具有高反射率且耐热性优异的溅射靶材。...
该专利属于石福金属兴业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过石福金属兴业株式会社授权不得商用。

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