下载一种机械加工用晶圆划片装置及其使用方法的技术资料

文档序号:30546735

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本发明公开了一种机械加工用晶圆划片装置及其使用方法,包括底座,所述底座顶部中央设置有调整机构,所述底座顶部前端一侧通过螺钉连接有控制面板,所述调整机构包括纵向直线滑轨副、横向直线滑轨副、放置盘,所述纵向直线滑轨副顶部设置有所述横向直线滑轨副...
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