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利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法技术方案
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下载利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法的技术资料
文档序号:3051765
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本发明披露了一种利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法。在一个实施例中,一个凹槽从滑块的前沿延伸、分开并终止在滑块尾沿处的两个位置。在一个实施例中,在靠近滑块尾沿的滑块压力垫中布置有一个凹槽。...
该专利属于新科实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新科实业有限公司授权不得商用。
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