下载电子束加热样品台的技术资料

文档序号:30496177

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本实用新型提供了一种电子束加热样品台,包括:基座,其底部具有容置电子束发射装置的容置空间,所述容置空间上方具有正对样品承载装置的开口;所述容置空间内侧布置有陶瓷片,以使电子束发射装置发射的电子束由开口导出。以使电子束发射装置发射的电子束由开...
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