下载一种半导体晶片表面抛光装置的技术资料

文档序号:30464333

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本实用新型公开了一种半导体晶片表面抛光装置,包括支撑装置、加工装置和进给装置,所述加工装置和进给装置分别设于支撑装置上,所述加工装置包括支架、电机支板、第一电机、第一电机保护罩、连接板、抛光筒和照明装置。本实用新型涉及轴承加工技术领域,具体...
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