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本发明公开了一种耐磨导电金刚石定位器，包括：支撑座、固定于所述支撑座上的CVD绝缘金刚石膜、固接于所述CVD绝缘金刚石膜上的掺硼导电金刚石膜及位于所述掺硼导电金刚石膜上往复运动的运动件；所述掺硼导电金刚石膜沿长度方向上刻蚀有多个沟槽，多个所...
该专利属于上海铂世光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海铂世光半导体科技有限公司授权不得商用。

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