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本实用新型适用硅片表面光刻胶保护技术领域，提供了一种用于硅片表面光刻胶保护的储存柜，储存柜包括：柜体，柜体设有用于存放硅片的储存空间；与柜体活动连接的柜门，柜门用于密闭或打开储存空间；设于储存空间内的氮气管和氮气探测器，氮气管通过控制阀与氮...
该专利属于宁波南大光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波南大光电材料有限公司授权不得商用。

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