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本发明提供了一种MEMS麦克风其包括具有背腔的基底和固定于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括相对间隔设置的背板和振膜，所述电容系统还包括间隔所述背板以及所述振膜的支撑部，所述支撑部包括支撑所述背板的支撑壁，所述背板与所述支撑壁之间夹角设...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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