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本发明涉及一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层及制备方法，其中涂层包括通过物理气相沉积法依次设于基底上的Ti层、TiN层、TiCN层以及TiCN/a
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该专利属于上海离原环境科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海离原环境科技有限公司授权不得商用。

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