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本发明公开了一种具有循环机构的石英舟清洗装置，包括用于废液处理的循环机构和用于对石英舟进行清洗的清洗机构以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构，所述循环机构安装在所述清洗机构内侧底部，所述烘干机构安装在所述清洗机构的出料端，所述清洗机构、所述烘...
该专利属于江苏亚电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技有限公司授权不得商用。

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