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一种非易失性可重置双向开关装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:30321130
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本发明公开了一种非易失性可重置双向开关装置,包含SOI晶圆的硅衬底,SOI晶圆的硅衬底上方为SOI晶圆的衬底绝缘层,SOI晶圆的衬底绝缘层的上方为半导体薄膜、双括号非易失性电荷存储层的部分区域、半导体隧穿层a、半导体隧穿层b、可互换电极内嵌...
该专利属于沈阳工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳工业大学授权不得商用。
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