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本发明公开了一种高真空智能微水测量装置和方法，包括托板、弯管、传输装置、法兰、电磁阀、玻璃管和单晶硅压力传感器；托板上设置有单晶硅压力传感器和传输装置，单晶硅压力传感器的输出端连接传输装置的输入端，传输装置的输出端连接数据处理装置的输入端；...
该专利属于中国西电电气股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国西电电气股份有限公司授权不得商用。

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