下载一种半导体器件的金属电极、以及半导体器件的技术资料

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本实用新型公开一种半导体器件的金属电极、以及半导体器件,其中,金属电极包括依次层叠设于外延片上的锗金层、第一粘结金属层、金层和第二粘结金属层。锗金层的粘附性好,能和外延片中的衬底形成良好的欧姆接触;第一粘结金属层作为粘合剂,用于增加锗金和金...
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