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接合方法以及接合装置制造方法及图纸
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下载接合方法以及接合装置的技术资料
文档序号:3027831
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本发明提供一种接合装置,其通过对作为安装用粘合剂的各向异性导电膜(ACF)照射激光,而能够缩短接合时间的同时实现高速且高精度的安装。通过来自激光振荡器(200)的照射,激光由激光反射镜(125)反射,经由支承玻璃(55)并通过阵列基板(玻璃...
该专利属于欧姆龙株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。
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