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本实用新型半导体测试装置领域，具体涉及一种多功能光学测试台。包括减震机架，减震机架的台面中间设置有光学基台，光学基台左右两侧和后侧分别设置有显微镜机构分布形成左显微镜机构、右显微镜机构和后显微镜机构，显微镜机构通过位移台实现XYZ轴移动和定...
该专利属于苏州伊欧陆系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州伊欧陆系统集成有限公司授权不得商用。

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