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本发明的沉积源在真空中被电子束加热，使沉积材料蒸发或升华，在移动的基板的表面上通过共沉积形成包含锂的化合物膜，所述沉积源包括：具备冷却部的炉缸内衬；以及收纳在所述炉缸内衬中且内部被放入所述沉积材料的多个内衬。衬。衬。
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该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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