下载配备有对准功能的气体供应装置的技术资料

文档序号:30206623

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本发明的目的在于提供一种能够沿垂直方向升降的同时当水平方向移送时进行对准,从而能够防止对准部破损的配备有对准功能的气体供应装置。用于实现此目的的本发明的气体供应装置包括:上部模块,包括主板,所述主板固定设置在配备于容器上端的阀部的上侧;下部...
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