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本实用新型一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用的能量回收装置，包括：第一精馏塔，第二精馏塔，所述第一精馏塔与第二精馏塔通过连通管连接在一起，所述第一精馏塔，第二精馏塔均包括塔顶冷凝器、精制段、塔釜再沸器，所述塔顶冷凝器上设置有冷循环装置，所...
该专利属于福建德尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建德尔科技有限公司授权不得商用。

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