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本发明公开了一种高精度微流量调节阀，包括壳体，壳体为中空的筒状结构，壳体的一端与阀座连接，阀座的杆状部与壳体的壁面紧密贴合，阀座的杆状部中开有通孔，锁紧螺母与壳体通过螺纹连接并与阀座贴紧，圆筒状压电陶瓷堆栈放置装配在壳体内，压电陶瓷堆栈的一...
该专利属于上海猛轼流体机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海猛轼流体机械有限公司授权不得商用。

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