下载一种单晶炉主室吊装定位装置的技术资料

文档序号:30152147

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本实用新型提供一种单晶炉主室吊装定位装置,包括吊装机构和定位导向机构,所述吊装机构包括立柱和与所述立柱连接的吊臂,所述立柱竖向设置,所述吊臂横向设置,所述吊臂可绕所述立柱的轴线做水平旋转运动,并可沿所述立柱的轴线做竖向升降运动;所述定位导向...
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