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高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:30149057
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高电压脉冲产生装置对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压,该高电压脉冲产生装置具有:n个变压器芯,它们构成变压器,n为2以上的自然数,n个变压器芯分别构成为形成沿着第1面的磁路,n个变压器芯各自的与第1面平行的...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。
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