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碳化硅材料及其制备方法技术
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文档序号:30135823
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本发明涉及一种碳化硅(SiC)材料及其制备方法,更具体地,涉及一种包括碳化硅(SiC)层的碳化硅(SiC)材料及其制备方法,其中,在所述碳化硅(SiC)层的至少一部分上形成有平均晶粒尺寸为3.5μm以下并在X射线衍射分析中(111)面优先生...
该专利属于韩国东海炭素株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过韩国东海炭素株式会社授权不得商用。
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