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本实用新型公开了一种基于陶瓷基板的阵列式压力测量装置,包括:压阻敏感芯片,用于在其的正面施加参考压,在背面施加外界气体压力,产生压力差;陶瓷电路片,用于将所述压力差转化为正比于压力变化的电信号输出并处理计算,所述陶瓷电路片内设有导气气孔,所...该专利属于明晶芯晟(成都)科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过明晶芯晟(成都)科技有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种基于陶瓷基板的阵列式压力测量装置,包括:压阻敏感芯片,用于在其的正面施加参考压,在背面施加外界气体压力,产生压力差;陶瓷电路片,用于将所述压力差转化为正比于压力变化的电信号输出并处理计算,所述陶瓷电路片内设有导气气孔,所...