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本发明提供了一种光学邻近修正模型的建模方法，至少包括以下步骤：设计测试图形，并根据所述测试图形制作测试光罩；利用所述测试光罩将所述测试图形转移至晶圆上，在所述晶圆上形成实际图形，并收集所述实际图形的第一晶圆数据；通过所述第一晶圆数据确定离焦...
该专利属于南京晶驱集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京晶驱集成电路有限公司授权不得商用。

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