下载一种高效真空镀膜系统的技术资料

文档序号:30036619

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本实用新型属于真空镀膜设备技术领域,具体涉及一种高效真空镀膜系统,包括有工作台、真空机构、镀膜机构和控制机构,镀膜机构包括有设于工作台上侧的镀膜腔,镀膜腔上端设有凸环,凸环开有环槽,凸环铰接有腔盖,腔盖圆心处设有螺纹杆,螺纹杆远离镀膜腔一端...
该专利属于阳明量子科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阳明量子科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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