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本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种生产质量检测用硅棒的设备，其包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器；汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三；物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通；物料通道...
该专利属于新疆大全新能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆大全新能源股份有限公司授权不得商用。

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