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本发明涉及一种靶材的烧结方法，采用球形颗粒状的氧化铝粉作为辅助滑动粉，把靶材放置在球形颗粒状的氧化铝上进行烧结，相比放置在不规则形状的氧化铝粉上进行烧结，即使靶材生坯重量较大，收缩时该氧化铝粉也更容易发生滚动，将靶材与承烧板之间的接触摩擦力...
该专利属于广州市尤特新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市尤特新材料有限公司授权不得商用。

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