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本申请公开了一种湿敏电容制作方法,包括获得衬底;采用电镀工艺在所述衬底的上表面制作焊盘和相互交叉的梳指电极;在所述梳指电极的上表面和侧面制作湿度敏感层,得到湿敏电容;其中,所述湿度敏感层的厚度大于所述梳指电极的厚度。本申请中制作梳指电极时,...该专利属于宁波中车时代传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波中车时代传感技术有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种湿敏电容制作方法,包括获得衬底;采用电镀工艺在所述衬底的上表面制作焊盘和相互交叉的梳指电极;在所述梳指电极的上表面和侧面制作湿度敏感层,得到湿敏电容;其中,所述湿度敏感层的厚度大于所述梳指电极的厚度。本申请中制作梳指电极时,...