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一种超晶格材料、制备方法及应用技术
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文档序号:30013292
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本发明公开了一种超晶格材料、制备方法及应用,属于半导体技术领域。一种超晶格材料,包括:InAs/GaSb复合层,厚度为1μm~3μm,由数量相等的若干层GaSb层和InAs层依次交替设置形成;柔性衬底,设置于InAs/GaSb复合层的InA...
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