温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种便捷加料的真空镀膜设备，包括真空腔体、坩埚、坩埚加热单元和穿过真空腔体侧壁的加料装置；所述加料装置包括储料盒、储料盒挡板、挡板拉杆、磁性导环和固定于真空腔体侧壁上的拉杆套筒；储料盒位于真空腔体内的一端设有开口，储料盒位于真...
该专利属于山东华光光电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东华光光电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。