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本发明涉及半导体制造技术领域，具体为一种晶圆载具的检测工装，其能够提高检测精度和检测效率，其包括机架，其特征在于，所述机架包括左支架和右支架，所述左支架与所述右支架一端连接、另一端不连接形成检测通道，所述左支架与所述右支架连接的一端安装有刻...
该专利属于艾华(无锡)半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾华(无锡)半导体科技有限公司授权不得商用。

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