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本实用新型公开了一种滚轮带液背腐蚀刻边装置，包括硅片输送机和顶部敞口的刻蚀槽，硅片输送机包括驱动组件和多个并排分布于刻蚀槽内的滚轮，驱动组件驱动滚轮沿相同方向转动，滚轮为漂浮滚轮，漂浮的滚轮上部抵接设置有下压件，漂浮的滚轮组成水平的硅片输送...
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