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本实用新型提供一种电子级三氯氢硅的吹扫灌装装置，包括阀管控制箱体，阀管控制箱体内部设置有取样支路、残余原料回收支路、安全排放支路、氮气吹扫支路、真空产生回路、成品灌装支路，解决了以往三氯氢硅的吹扫柜功能不足问题和存在只能吹扫不能灌装的问题；...
该专利属于镇江沅净电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江沅净电子科技有限公司授权不得商用。

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